In der nass-chemischen Aufarbeitung können alle handelsüblichen voll- bzw. teilprozessierten Wafer- und Solarzellentypen bis zu einem Format von 156 x 156 Millimetern recycelt werden. Zum Einsatz kommen Wafer bzw. Waferbruch bis in den Feinkornbereich mit Oberflächenverunreinigungen, Solarzellen mit fehlerhaften Dotierschichten, Antireflexschichten und Kontakten. Das beste Ergebnis wird erzielt, wenn diese völlig entfernt werden.
In speziellen Ätzlinien werden die Wafer in mehreren Ätzschritten von Verunreinigungen befreit oder Sägeschäden beseitigt. Praktikabel ist eine kundenspezifische Oberflächenbehandlung wie Ätzpolitur, isotropes Ätzen oder Texturätzung mittels eigener oder kundenspezifischer Rezepte.
Die Solarzellen verschiedener Hersteller benötigen eine auf ihre Schichtsysteme angepasste Behandlung. Ferner darf die Oberflächenstruktur der Siliziumscheiben nicht nennenswert geändert werden. Haben die Solarzellen den chemischen Reinigungsprozess durchlaufen, bleiben als Endergebnis die reinen Siliziumwafer zurück, die erneut den Zellprozess zugeführt werden.
Gemeinsam mit unseren Kunden und Forschungspartnern werden diese Prozesse ständig optimiert.
